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    排水综合知识:低温泵真空系统操作需注意哪些

      发布时间:2018-03-17 07:35

      低温泵真空系统操作需注意哪些事项,面对一些问题时又该如何操作应对,本文为你详细列举,希望能帮你认识了解低温泵线)在低温泵系统中,有时为了减少表面出气,需要对工作室壁用液氮冷却。但此时,在解释电离规读数时就应注意。即使室壁不冷却,规在低温系统内的位置很重要,特别是否直接对着泵。由于电离规测量的是气体密度而不是压强,若规内气体温度为T1,而系统内温度为T2,则电离规压强读数是Pi=P(T1/T2)1/2,这里P是系统内的压力。

      (2)烘烤低温泵真空系统时应特别注意,由于低温泵怕热辐射,当系统烘烤到450℃时,可能导致泵的温度升高到超过工作范围,此时可以在泵和系统之间插入水冷挡板作为热辐射屏蔽,但这会严重地减小抽速。可以把挡板制成烘烤时旋转到屏蔽位置,结束后旋转回去的类似于蝶阀的结构。档板在屏蔽位置时,系统的抽速减小了75%。

      (3)在抽气系统操作时,系统的操作者应确保在工作过程中低温泵的热载荷不超过额定指标,尤其应特别注意泵第一级吸附板上的热载荷大小。为了确保低温泵的热载荷不超过指标(尤其是第一级上的热负载),应采用某种形式的障板来减少射到第一级上的辐射用量。除了线K的辐射外,第一级还接受来自诸如镀膜室、加热灯丝或溅射放电等热辐射源。在许多过程中热载荷可高达100到150W,此时就容易超过功率为35到40W的膨胀机的容量。因而需要加某种形式的障板来减少射到第一级上的辐射通量。最简单的办法是用反射的非冷却障板。如果还不够的话,则需要采用带冷却的人字形障板。这种障板可以用水冷却也可以用液氮来冷却。

      (6)不能用低温泵抽除有毒的或易爆及容易产生化学反应的危险气体。因为低温表面可冷凝各种蒸气,所以它会累积大量的沉积物,当泵被升温时,低温表面冷凝的某些沉积物就可能相互反应或与大气发生反应。例如,硅烷和水蒸气在77K时会起反应,产生爆炸的危险。如果泵中凝结着爆炸性气体,则在泵突然升温大量气体放出时,它们会流到被抽空的系统中去,此时如果电离规在工作就会发生严重问题。

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